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减反射工艺相关论文
PECVD-SiNx钝化减反射特性研究
作为一种器件表面介质膜,SiNx薄膜已被广泛应用于IC以及太阳能光伏器件的制造中。在高效太阳能电池研究中,发射结表面钝化和减反射一......
学位
SiNx薄膜
表面钝化
减反射工艺
太阳能电池
正面发射结
PECVD法
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