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动态离子柬混合相关论文
动态离子束混合沉积氧化钽薄膜的微观分析
用动态离子柬混合技术在铁基材料表面上制备氧化钽薄膜。用Ar^+束溅射沉积薄膜的同时,分别用100keV,2×10^17/cm^2的O^+离子或100ke......
期刊
氧化钽薄膜
动态离子柬混合
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