压控电容相关论文
在GaN衬底上制作了MIM型BST薄膜压控电容,测试表明,该压控电容在0.1~15GHz的频率范围内具备压控调谐特性,在5GHz处,当外加电压15V时,电容......
在氮化镓外延材料上制作了金属-绝缘层-金属型钛酸锶钡薄膜压控电容.测试表明,该压控电容在0.1~15GHz的频率范围内具备压控调谐特性......
在GaN衬底上制作了MIM型BST薄膜压控电容.测试表明,该压控电容在0.1~15GHz的频率范围内具备压控调谐特性;在5GHz处,当外加电压15V......
本文对射频MEMS器件研究的最新进展进行了论述。文章分别讨论了几种主要MEMS器件的包括开关、电感、电容、滤波器和谐振器、天......
采用静电场力作用下二维三阶段微梁的静力分析模型,分析了影响两侧下拉电极MEMS压控电容可控范围的因素,这些因素包括:驱动电极的位置......
设计并制作了基于硅基的射频微机械压控电容。该电容采用三对极板的传动结构,当两侧控制极板受到静电力驱动时,位于中部的电容极板......
期刊
基于能量法对两侧下拉电极控制(SPEC)的MEMS(微机电系统)压控电容进行了分析和优化.使用数值迭代方法计算了压控电容可动极板的挠......