原子层沉积系统相关论文
在原子层沉积系统中采用远程氧等离子体原位预处理Ge表面生成一层高GeO2含量的GeOx钝化层,随后沉积0.5nm氧化铝和3nm氧化铪高k介质......
本文通过原子沉积系统,在长有碳纳米管的硅衬底标面上沉积一层二氧化钛薄膜,并通过高温退火处理制备碳纳米管和二氧化钛的复合物.......
因300毫米晶圆在量产上的竞争优势，与芯片应用朝向高阶产品发展的趋势使然，目前全球前段晶圆制造厂皆积极发展300毫米晶圆；对后段封装......
在近年来的半导体材料发展中,Ⅲ族氮化物在其中扮演了重要的角色。其中的GaN已经被广泛应用,而同族的InN的研究热潮正在掀起。InN......
