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原子束沉积相关论文
原子光刻及关键技术分析
文章对原子光刻进行了深入的分析,介绍了其基本概念、工作机理、相关实验方案,针对原子光刻的原子捕获、激光稳频、原子束聚焦和沉积......
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原子光刻
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原子捕获
激光稳频
原子束沉积
atom lithography
nanometer structure
atom seizure
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