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双E型硅传感器芯片相关论文
新颖型弹性膜硅加速度传感器芯片的应用
介绍了最新设计的双E型硅传感器芯片的制作工艺,通过控制不同敏感硅芯片弹性膜的厚度,即可制得不同量程的双E型敏感硅芯片和加速度......
期刊
双E型硅传感器芯片
制作工艺
硅芯片
弹性膜
加速度传感器
thick film silicon chip accelerometer sensor
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