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基于4Q-PSD的高分辨率横向位移探测方法研究
在分析四象限位置敏感器件(4Q-PSD)结构及特点的基础上,利用该器件作为核心探测器,设计了一种光电探测系统,对高分辨率横向位移的......
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高分辨率
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反射光聚焦
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位移测量
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