反应式磁控溅射相关论文
氮化铝薄膜具有高折射率,良好的化学稳定性,耐磨摩、高电阻等特性在微电子器件和光学薄膜中有着广泛地应用.本文研究了反应式磁控......
作为下一代照明技术，GaN基白光LED具有节约能源、使用寿命长和色温可调等突出优点。在提高GaN基白光LED发光效率的应用中，氮化铪(HfN......
氮化铝薄膜具有高折射率,良好的化学稳定性,耐磨摩、高电阻等特性在微电子器件和光学薄膜中有着广泛地应用.本文研究了反应式磁控......
氮化铝薄膜具有高折射率，良好的化学稳定性，耐磨摩、高电阻等特性在微电子器件和光学薄膜中有着广泛地应用．本文研究了反应式磁控溅射......
利用反应式磁控溅射镀膜系统在蓝宝石衬底上制备了氮化铪(HfxN)薄膜,系统研究了氮气流量fN和镀膜温度Ts对HfxN薄膜的物相组成、晶......
