叠加间距相关论文
为了提高光学元件的面形精度,精确拟合出离子束去除函数。以去除函数的方均根(RMS)为分析对象,分析不同叠加间距下离子束等量去除......
采用一种仿真优化驻留时间分布和修形工艺的方法.通过在离子源出光口处添加光阑来改变离子束的束形,在MATLAB软件上模拟不同光阑尺......
