各向异性湿法腐蚀相关论文
本文介绍了一种用于微型绝压传感器的压阻式力敏芯片的设计原理、内部结构及性能特点。该芯片做成的微型动态压力传感器在空气动力......
自支撑氮化硅膜结构一般是基于微纳加工技术来制备的。为了提高膜结构的品质,本文分别对自支撑氮化硅膜结构制备中的干法刻蚀参数......
利用电子束光刻和各向异性湿法腐蚀技术,在（100）SOI衬底上成功地制备出晶面依赖的硅纳米结构.这项技术利用了硅的不同晶面在碱性腐蚀......
以硅（100）衬底为基础，详细介绍了一种针对体硅湿法加工中各向异性腐蚀带来的凸角切削现象的理论分析方法，指出了凸角切削现象具有唯一......
首先介绍了两种结构完全对称的高灵敏度的摇摆质量陀螺．设计并制作了一种对角驱动的新型摇摆质量微陀螺．利用硅的各向异性湿法腐蚀等......
曲面光栅具有平面光栅和透镜两种光学器件集成的功能。利用曲面光栅取代透镜和平面光栅的光路组合，可极大地减少透镜的数目与质量，从......
在微机电系统(MEMS)领域硅各向异性湿法腐蚀是制作许多元器件的一项重要技术,加入非离子型表面活性剂的腐蚀液可以在硅基片上制作......
微机械压阻式加速度传感器应用广泛,从便携式电子消费产品到航空航天领域都能见到它的身影,它具有体积小、成本低、精度高、可靠性......
