文章叙述了采用金属有机物四异丙基钛（Ti（OC3H7）4）为钛源进行MOPCVD法沉积Ti（CN）涂层。并对涂层进行了其显微硬度测量和X射线衍射（XRD）测试......

文章叙述了采用金属有机物四异丙基钛（Ｔｉ（ＯＣ３Ｈ７）４）为钛源，在外加热ＰＣＶＤ设备上沉积Ｔｉ（ＣＮ）涂层。并对涂层进行了其显微镜硬度测量，扫描电镜（ＳＥＭ）观察和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）分析......

采用金属有机物四异丙基钛为钛源，在辅助加热ＰＣＶＤ设备上进行沉积Ｔｉ（ＣＮ）涂层研究。并对涂层进行了显微硬度测量、扫描电镜观察和Ｘ射线衍射分析。......