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回转式压电微角度执行器驱动控制及检测系统的研究
微位移驱动技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一。随着科学技术的发展,在电子、光学、生物、......
学位
微位移驱动
执行器
回转微角度
微角度检测
压电电源
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