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为了提高晶圆片温度分布的均匀性、改善加热元件性能，采用传导与辐射耦合传热模型，对快速热处理工艺中晶圆片内传热过程进行了数值模......
利用时域有限差分法（FDTD）研究了晶圆片中SiO2沟槽尺寸变化对其表面吸收率的影响.同时利用等效介质理论（EMT）对预测结果进行了进一步解......
