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单晶硅是半导体器件、集成电路以及太阳能电池片的重要原材料,对信息技术的发展及新能源光伏行业的发展有着至关重要的影响。直拉法......
在光伏产业的快速发展的今天,大直径化必将成为单晶硅未来生产的趋势之一。目前,以大规模集成电路为代表的半导体设备变得愈加完善......
在CZ法硅单晶生长中,化料过程是原生硅固液形态转换的主要过程,由于化料阶段功率最高,也是最容易发生事故的过程,其中溅硅、漏硅等......