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针对CMOS器件栅氧化层的早期失效问题,研究了化学气相沉积(CVD)氧化层/热氧化层的双层复合栅结构.对高温氧化(HTO)层、等离子体增......
提出了一种应用于射频领域的复合多晶硅栅LDMOS结构（DMG-LDMOS），并给出了工艺实现方法。此结构采用了栅工程的概念，所设计的栅电极由S-......
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