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外差相干法相关论文
电子调制的激光相干法表面轮廓测量技术研究
表面轮廓的测量可以评定零件表面的光滑程度,为了实现高精度测量,提出了应用电子直接调制激光束的频率和外差相干的方法对表面轮廓......
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