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多孔纳米β-SiC薄膜相关论文
硅基蓝光发射材料:多孔纳米β-SiC薄膜、注Si<'+>热氧化SiO<,2>薄膜的微结构及其发光特性
该文采用离子注入技术,在单晶Si中注C,经过高温退火和电化学腐蚀,制备了硅基多孔纳米β-SiC薄膜,还在硅基热氧化SiO薄膜中注Si,制......
学位
多孔纳米β-SiC薄膜
硅基蓝光发射材料
微结构
发光特性
发光机理
SiO薄膜
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