多晶硅工艺相关论文
能源问题是关系到人类生存和发展的关键问题。本研究围绕着传统能源的清洁利用和新能源材料的新工艺开发，以离子液体为核心介质，开展......
集成电路具有高速度、高集成度、低功耗的特点，目前工艺方法能够适应和达到这种要求的有很多，其中就包括多晶硅工艺。本文主要介绍了......
试验使用ＬＰＣＶＤ多晶硅薄膜工艺，以掺杂多晶硅发射极结构取代传统的泡发射极Ｔｉ－Ａｌ结构，用于超高频晶体管生产中，改善了器件性能，提高了成品率和可靠......
