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太赫兹矩形波导相关论文
基于UV-LIGA的太赫兹波导微矩形腔体加工技术研究
提出了一种制作太赫兹矩形波导的方法,即先利用UV-LIGA技术制作出锌牺牲芯模,然后在锌芯模表面镀金、铸铜,最后将锌芯模溶解,成功......
期刊
太赫兹矩形波导
UV-LIGA技术
锌表面镀金
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