宽带膜厚监控相关论文
讨论了 CCD的主要特性及对宽带膜厚监控系统的影响 ,介绍了典型的 CCD数据采集系统。建立了一套基于 CCD的宽带膜厚监控系统 ,并对......
针对过去的宽带膜厚监控法必须依赖镀制前设定的目标透射率(反射率)的固有缺陷,提出了在蒸镀过程中及时拟合出所镀层的膜厚、色散系数......
针对传统的宽带膜厚监控法存在精度低和灵活性不高的缺陷,文章提出了一种新的方法,在蒸镀过程中不断拟合更新镀层的色散系数(折射......