射频容性耦合等离子体相关论文
等离子体聚合法是一种制备聚合物薄膜的有效方法,由于其远离平衡态的工艺方法和不依赖改性表面性质的生长工艺特点,可用几乎所有的......
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为了提高射频容性耦合等离子体电子密度,研究放电参量对其的影响.通过采用朗缪双探针法诊断分析了放电气压、气体组分、射频功率以......
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等离子体聚合是一种制备聚合物薄膜的有效方法,由于其远离平衡态的工艺方法和不依赖改性表面性质的生长工艺特点,可用几乎所有的有......
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ue*M#’#dkB4##8#”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:(100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
由于射频容性耦合等离子体(Radio-Frequency Capacitively Coupled Plasmas,rf-CCPs)源结构简单并且能够产生大面积均匀等离子体,......
采用射频容性耦合等离子体,以乙醇为聚合单体,研究了聚合功率、工作气压等工艺参数对乙醇等离子体聚合薄膜沉积速率、表面形貌、化......
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