射频等离子体增强相关论文
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采用射频等离子体增强化学气相沉积技术，重点针对用于双结叠层电池的底电池或三结叠层电池的中间电池-非晶硅锗(a-SiGe)太阳电......
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本文用射频等离子体增强热丝化学气相沉积(RD-HFCVD)技术在Ni衬底表面合成了c-BN膜，实践证明，热丝温度Tf、衬底温度Ts、是影响薄......
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本文采用射频等离子体增强化学气相沉积(rf-PECVD)技术，以N、CH为气源，以Ar为稀释气体，在模具钢Crl2钢基底上制备掺氮类金刚石膜(a—C......
