平面工艺技术相关论文
叙述了采用传统的平面工艺技术制备的快响应电流型Si探测器的制备工艺.为了提高探测器的时间响应,对300чm厚的探测器进行了适当的......
叙述了用平面工艺技术制备Si-PIN低能x射线探测器的工艺方法。为了减小探测器的漏电流，采用了表面钝化和保护环技术。文章给出了厚......
叙述了用平面工艺技术制备大面积Si带电粒子探测器的工艺方法。为了减小探测器的漏电流,采用了表面钝化技术。文章分别给出了厚度3......
