平面度测量系统相关论文
介绍了一种采用斜光学三角形测量结构和基于虚拟精密测量基准的太阳帆板平面度无接触测量,首次提出斜光三角形测量结构,使得测量系统......
提出了一种超精密车床端面加工实时误差补偿方法,并对工件加工表面进行在线测量,用最小二乘方法计算平面度,结果表明零件平面度改善了......