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在相似剖分有限元方法的基础上,结合硅基微波共平面传输线的特点,采用混合相似剖分技术,对这种长度为毫米级的悬浮传输线的特性阻抗进......
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介绍了三种硅基微机械微波传输线:矩形波导、V型槽及W型槽共平面波导,及其三种传输线的制备工艺流程。分析认为,制备方法不同,导致传输......