本文以自动化测量传感器为主要研究对象,着重对基于面向微机械电子技术的自动化测量传感器的设计方案进行研究和分析.......

微机械电子技术的深入发展给传感器设计带来巨大改变,传感器逐渐向着自动化、微型化发展,以便用于更加精细化作业当中。为此,设计......

...

为满足返回式航天器再入过程中瞬态高温的测量需求,文章基于微机械电子系统（Micro-Electro Mechanical Systems,MEMS）技术设计了一款......