微机电系统(MEMS)振动陀螺仪相关论文
由于微半球谐振子吹制过程存在严重加工误差,将导致谐振子结构误差,进而导致微半球谐振子工作模态发生频率裂解和模态主轴轴向偏转......
针对微机电系统(MEMS)振动陀螺仪驱动模态自动增益控制(AGC)回路非线性、控制器设计难的问题,提出了在平衡点处将系统进行线性化并......
