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微电子刻蚀技术相关论文
光纤型毛细管电泳芯片检测系统的研制
1992年,Manz[1]等人提出了微全分析系统(μ-TAS)的概念,并采用微电子刻蚀技术制成了微芯片,使整个分析系统进一步小型化,并且分离......
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光纤型毛细管电泳芯片检测系统
微电子刻蚀技术
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