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微结构尺寸测量相关论文
横向负载下三维微触觉传感器的力学模型
提出了一种用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉式传感器在横向负载下的力学模型,用于指导传感器的设计和优化.对传感器的整体刚......
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微结构尺寸测量
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微触觉传感器
力学模型
横向负载
dimension measurement of micro structure micro e
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