本文研究在“固相法制各高温超导材料YBCO实验”中,用RTP技术替代通常使用的烧结炉对超导材料进行二次热处理的制备工艺,制备出超......

本文通过对荣华二采区10...

利用Sol—Gel法在Pt／TiO2／SiO2／Si基底上用快速热处理（RapidThermalProcessing，RTP）退火工艺制备出了致密的PZT铁电薄膜，主要研究了在退火......

利用快速热处（Rapid Thermal Processing，RTP）技术，成功制备了单晶硅太阳电池。在三个重要的热处理环节（磷扩散制作P—N结、热氧化、电......

采用微波光电导衰减法（μ-PCD）、扫描电镜等测试技术,研究了快速热处理（RTP）对铸造多晶硅片表面缺陷形貌以及少子寿命特性的影响。结果......

主要研究了1．5MeV、剂量为3．5×10^17e／cm2的电子辐照后的直拉硅经后续高温热处理，其体内氧沉淀的变化情况以及清洁区的形成。结果......

本文用化学腐蚀法在多晶硅基片上制作多孔硅，通过SEM、XPS对多孔硅的表面微结构及其组成进行了研究，定性地分析了氧在多孔硅层中的作......

20世纪70年代全世界发生了以石油为代表的“能源危机”,这让人们认识到常规能源的局限性。随着石油、天然气等化石能源的迅速消耗,......

对经过电子辐照的n型[111]晶向直拉硅样品在不同气氛下进行了热处理，对比研究了热处理气氛对电子辐照直拉硅中的缺陷形貌、间隙氧含......