快速退火工艺相关论文
该文系统地研究了采用金属有机物热分解法制备PZI薄膜的工艺,及该薄膜的相结构和介电性能.从氯氧锆发合成有机锆盐--庚酸氧锆,并和......
<正>国内活塞销生产厂的活塞冷挤压毛坯退火,大多数在井式炉、箱式炉和其它空气炉内进行。常用的退火工艺有下几种。见图1a、b、c,......
采用快速退火工艺在Pt/Ti/SiO2/p-Si衬底上制备了Bi4Ti3O12铁电薄膜。研究了退火温度对薄膜微观结构、铁电特性及介电性能的影响。研......
采用MOCVD工艺在Ts=440℃条件下制备组分Bi/Ti=1.44的非晶态薄膜,经过快速退火处理,制备高度择优取向的Bi4Ti3O12 铁电薄膜,在Ts=4......