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本文基于MEMS技术在<100>晶向双面抛光高阻单晶硅片上设计、制作悬臂梁阵列式脉搏传感器。该结构由三个悬臂梁(B1、B2、B3)、悬臂......
扩散硅力敏传感器ＣＡＤ的技术包括３大部分；传感器平面工艺ＣＡＤ；传感器芯片结构ＣＡＤ；传感器结构ＣＡＤ。平面工艺ＣＡＤ是根据半导体技术的理论，将氧化，注入，退火，再扩......
本文叙述了在通用扩散炉上实现大面积超厚硅片电气参数一致性的有效方法，在使用本工艺之前，芯片径向电阻的非均匀性在２０％左右。使用本工......
扩散工艺是制作半导体的关键结构PN结的一种常用方法。本文在介绍了扩散的定义、扩散工艺在半导体生产过程中的作用原理和应用范围......
随着集成电路的尺寸越来越小,其对静电放电(ESD)也变得越来越敏感,而电阻在ESD保护电路中可以起到隔离和分压的作用。对ESD应力下......
本文对比研究了低合金钢在海洋大气环境暴露实验与室内周浸加速实验的腐蚀结果,计算腐蚀速率,观察锈层的宏观形貌,并利用扫描电子......
