扫描干涉法相关论文
该文提出了可用于绝对距离测量的波长扫描干涉法。系统中包含两个光纤Ｆ－Ｐ干涉仪，一个作为参考干涉仪，另一个作为测量干涉仪。通过波长扫......
在表面测量方法中,光波干涉测量法具有较高的测量精度较好的空间分辨率被广泛使用.干涉显微镜是测量高精度表面的主要仪器,而光电......
提出了用扫描Fabry-Perot干涉仪对光电系统10～500MHz的频率响应进行测试的方法。用信号半值宽度τ_m来估计光电系统的高频截止频率f......
