挠性器件相关论文
带薄壁梁结构和高深宽比特征的微型挠性器件是挠性摆式加速度计和振梁加速度计的重要元件,其具有体积小、精度高、灵敏性好等优点......
系统采用位置敏感器(PSD)作为光电探测器来测量器件的振动信号,计算机依据PSD测得的挠性器件的振荡信号,对其进行谐波分析及频谱分......