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研制出检测ULSI芯片的薄层电阻测试仪，可用于测试无图形样片电阻率的均匀性，用斜置的方形四探针法，经显微镜、摄像头及通信口接入计算......
提出用改进的Rymaszewski公式并使用方形四探针法测试无图形大型硅片微区薄层电阻的方法 ,从理论上推导出方形四探针产生游移时的R......
