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近年来,碳基材料一直是国内乃至国际上的一个研究热点。其中非晶碳(a-C)薄膜的应用尤为广泛,人们对非晶碳薄膜的研究进行了很多年,......
用射频磁控溅射法成功地制备了非晶碳薄膜薄膜。拉曼光谱表征表明所沉积的非晶碳薄膜是非晶结构,具有类金刚石特性。对所制备的掺氮......