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斜角蒸镀工艺相关论文
SiO_2薄膜斜角蒸镀工艺研究
利用斜角蒸镀工艺镀制SiO2薄膜是获得低折射率薄膜的一个有效方法。通过电子束蒸发镀膜方式,利用自制的斜角蒸镀装置,研究了SiO2材......
期刊
低折射率
SIO2薄膜
斜角蒸镀工艺
low refracting index
SiO2 film
glancing angle deposition pr
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