微型与微压均是压阻压力传感器制作中的难题，二者都要求就更难，作者应水工模型测量的要求开发了一种直径Φ５ｍｍ，量程１ｍＨ〈，２〉Ｏ，３ｍＨ〈，２〉Ｏ，测水且要背腔......

介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术。使用双岛梁膜结构，取得了很高的输出灵敏度及优良的......

针对国内外在硅微型压阻式压力传感器上的研究进展和产业化情况，从复合弹性元件的设计、芯片微加工工艺、芯片无应力封装和后期动静......

传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,它与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱。在各种传感器中,硅压力传感......