无掩膜腐蚀技术相关硕士博士期刊学术论文

本文介绍了利用ＫＯＨ腐蚀液对硅台阶，台面等三维结构进行无掩膜腐的新技术，应用该技术可以制作出仅用常规各向异性腐蚀所无法形成的微机械......