有机胺碱相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

有机胺碱相关论文

有机胺碱对硅粗抛光及表面微形貌的影响

硅单晶抛光片是极大规模集成电路应用最广泛的衬底材料,抛光液为影响硅单晶片抛光最关键的因素。通过改变抛光液中有机胺碱配比来......

期刊

硅单晶片有机胺碱抛光液抛光速率表面粗糙度

有机胺碱对硅通孔铜膜化学机械抛光的影响

有机胺碱可与铜离子反应且产物在碱性条件下溶于水,这为硅通孔(TSV)铜膜的碱性化学机械抛光(CMP)提供了有利条件。研究了大分子有......

期刊

硅通孔有机胺碱铜膜化学机械抛光一致性

看过本文同时还关注