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椭圆形IDT结构相关论文
硅基AlN椭圆形IDT-SAW滤波器的设计
在已知的压电材料中,AlN薄膜的声表面波传播速度是最快的。采用硅基AlN薄膜作为压电材料,利用变迹加权的方法来优化设计IDT,改进型8函......
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滤波器
椭圆形IDT结构
变迹加权
插入损耗
AlN薄膜
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