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声表面波温度(Surface Acoustic Wave,SAW)传感器具有尺寸小、灵敏度高等优点,并能轻松实现无线无源传感,因此可广泛应用于新兴的......
采用硅基AIN薄膜作为压电衬底，利用改进的δ函数模型对变迹加权圆形IDT结构进行建模仿真，根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图，并在实......
分析了新结构Y型双声路声表面波（SAW）质量传感器的频域特性．应用P矩阵理论计算结合实验验证，比较了3种不同结构器件的性能．结果表明，换能......
在已知的压电材料中，AlN薄膜的声表面波传播速度是最快的。采用硅基AlN薄膜作为压电材料，利用变迹加权的方法来优化设计IDT，改进型8函......
利用改进的δ函数模型对变迹加权三角形的IDT结构进行建模仿真,根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,并在实验室制作了中心频率为20......
