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文章介绍了定量气体动态比对法,参考漏孔比对法、流量比对法、校准质谱计法等分子流动态进样比对法正压漏孔校准方法。这类方法......
本文研究在真空检漏中在一定压力范围内不同入口压力变化或者出口压力变化和正压漏孔漏率的关系,保证在压力条件变化的情况下,仍得......
采用差压式电容薄膜规定容法,通过测量压强差的变化减小环境温度波动的影响,实现了正压漏孔校准.该套装置校准范围为1×10~3×10Pa......