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材料放气特性对分析真空中残余气体成分有重要影响。本文主要研究真空电机引线在真空环境中的放气特性。采用小孔流导法初步测......
为了满足兰州重离子加速器冷却储存环6×10Pa的真空度要求,必须建立温度在200-300℃、控制良好的在线烘烤系统.HIRFL-CSR真空系统......
兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL-CSR)属于国家"九·五"重大科学工程,全长约500m,超高真空系统贯穿整个装置.CSR真空排气系统是......
质谱测定法已经表明,在工业用干泵的入口或气镇口的极小气流能足以完全抑制干上方残余气体的氟化烃油污染。相反,在没有气体流动时,氟......
微腔体中的残余气体压力与成分对于真空封装器件至关重要。提出一种微体积封装器件的内部压力和残余气体分析技术,研制了测试平台,......