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氢掺杂AZO薄膜相关论文
磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜
通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用。由此可以......
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直流磁控溅射技术
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氢掺杂AZO薄膜
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