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氧化物超导簿膜相关论文
氧化物超导簿膜的成型技术
本文介绍了Y-Ba-Cu-O(YBCO)高Tc超导膜的两种成型方法,化学湿法刻蚀的肃离光刻度技术,在化学蚀刻方法中,发现腐蚀液H3PO4/H2O的腐蚀速率......
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氧化物超导簿膜
成型技术
化学蚀刻工艺
剥离光刻技术
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