太赫兹(THz)技术目前引起研究者们的极大关注,但是目前工作在太赫兹波段的器件还不成熟。因为超导器件对太赫兹波段的信号敏感,所......

采用多层光刻工艺结合氩离子铣的混合刻蚀方法，刻蚀高Ｔｃ超导ＹＢａＣｕＯ／ＺｒＯ２（１００）薄膜图形，取得了较好的结果，在进行氩离子铣的工艺步骤中，使用普通氩离子铣设......