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溅射制备技术相关论文

光伏新材料——掺氮碳薄膜溅射制备技术及测试

介绍了采用氮气离子束溅射,高纯石墨为靶材,沉积掺氮碳薄膜的设备及工艺技术.对薄膜的沉积过程作了讨论,采用X射线光电子能谱(XPS)......

期刊

光伏材料掺氮碳薄膜溅射制备技术测试碳/硅异质结 X射线光电子能谱太阳能电池 carbon thin films dopedwith nitrogen

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