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激光化学掺杂相关论文
气相激光化学掺杂PtSi/p/p-Si薄膜的界面结构与肖特基特性
在中波红外波段(3~5μm),PtSi/Si肖特基势垒探测器在大规模焦平面阵列中得到迅速发展,但量子效率是制约其发展的关键因素之一.降低......
会议
激光化学掺杂
界面结构
肖特基特性
PtSi薄膜
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