本文从SMART传感器的特点、组成原理及其发展趋势等方面对SMART传感器作了详尽的描述，介绍了新型传感器在测控系统中的应用。......

灵巧传感器清华大学自动化系高金山，王家桢，顾利忠集成传感器和灵巧（Ｓｍａｒｔ）传感器是随着大规模集成电路技术和半导体的精密细微加工及组装等......

MEMS一词由Micro Electro Mechanical System的4个字首组成，可译为微电子机械系统。MEMS的起源可以追溯到60年代，1989年后MEMS一词就......